壓力傳感器,顧名思義,用于監測壓力值高低的采集設備,用途廣泛,具備高靈敏度、寬壓供電、過壓保護、溫度自補償、防水防塵等特性,在測量精度、穩定性上,有不少因素是對有不同程度上的影響。
1、體系結構
彈性元件、外殼膜片、上壓頭、下壓墊的設計,在結構上需具備不產生性能波動,或性能波動很小。盡量做到應變區受力單一,應力均勻一致,貼片部位最好為平面、在結構上具有一定的抗偏心載荷和側向載荷的能力、安裝力遠離應變區,測量時應避免載荷支撐點的位移等。

2、彈性元件材料
彈性元件的金屬材料對壓力傳感器的綜合性能和穩定性起關鍵作用。應選擇強度極限高、彈性極限高,彈性模量的時間、溫度穩定性好、彈性滯后小、機械加工和熱處理產生的殘余應力小的材料。特別重視彈性模量隨時間的穩定性,要求在使用壽命期間內材料的彈性模具不發生變化。
3、機械加工與熱處理工藝
彈性元件在機械加工過程中,與表面變形的不均勻產生較大的殘余應力,切削用量越大,殘余應力就越大,磨削加工產生的殘余應力最大,因此應制定合理的加工工藝和規定適當的切削用量。彈性元件在熱處理過程中,由于冷卻溫度不均勻和金屬材料相變等原因,在芯部和表層產生方向不同的殘余應力,其芯部為拉應力,表層為壓應力。必須通過回火處理工藝,在其內部產生方向相反的應力,與殘余應力相互抵消,減少殘余應力的影響。
4、電阻應變計與應變粘結劑
電阻應變計應具有最佳性能,要求靈敏系數穩定性好,熱輸出小,機械滯后和蠕變小,應變為1000x 10-6時疲勞壽命可達108,電阻值偏差小,批次質量均等。應變粘結劑應具有粘結強度大,抗剪強度高;彈性模量較大且穩定;電絕緣性能好;具有與彈性元件相同或相近的熱膨脹系數;蠕變和滯后小;固化時膠層體積收縮小等。粘貼電阻應變計時一定要嚴格控制膠層厚度,因為粘結強度隨膠層厚度的增加而降低。
薄膠層需要更大的應力才能變形,不易產生流動和蠕變,界面上的內應力很小,產生氣泡和缺陷的幾率也比較小,應變傳遞性能好,只要防護密封合理就可達到較高的穩定性水平。

5、制造工藝流程
應變式壓力傳感器的工作原理和總體結構決定了,在生產工藝流程中有些工序必須手工操作,人為因素對壓力傳感器的質量影響較大。因此必須制定科學合理并可重復的制造工藝流程,并在其中增加電子計算機控制的自動化或半自動化工序,盡量減少人為因素對產品質量的影響。
6、電路補償與調整
應變式壓力傳感器屬于裝配制造,貼片組橋后就形成了產品,由于內部不可避免地產生缺陷和外界環境條件的影響, 某些性能指標達不到設計要求,因此必須進行各項電路補償與調整,提高壓力傳感器本身的穩定性和對外部環境條件的穩定性
7、防護與密封
防護與密封是壓力傳感器制造工藝流程中的重要工序,如果防護密封不良,粘貼在彈性元件上的電阻應變計及應變粘結劑膠層,會因吸收空氣中的水分而產生增塑,造成粘結強度和剛度下降,引起零點漂移和輸出無規律變化,直至傳感器失效。

8、穩定性處理
提高壓力傳感器的穩定性除處理好上述各種因素的影響外,最重要的途徑就是采取各種技術措施和工藝手段,模擬使用條件進行有效的人工老練試驗,盡量多地釋放殘余應力使其性能波動減至最小。